[实用新型]一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘

权利要求书

1.一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，包括吊料盘本体(1)，吊料盘本体(1)包括位于中间位置的功能区和位于功能区外侧的环形密封区，环形密封区底部盖设有宽度与环形密封区的宽度相同的环形密封圈(7)，环形密封圈(7)用于与不同口径的坩埚本体(11)相适配。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述环形密封圈(7)内环的直径范围为700mm-950mm，所述环形密封圈(7)外环的直径范围为1000mm-1200mm。

3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述环形密封圈(7)的厚度范围为：10mm-30mm。

4.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述功能区和所述环形密封区的交接处设有环形凹槽(12)，所述环形密封圈(7)的内环端面上设有卡设于环形凹槽(12)内的环形凸起(701)；

所述环形密封圈(7)的顶部设有若干沿其周向均匀分布的螺纹孔(703)，环形密封圈(7)通过螺纹孔(703)与环形密封区螺旋连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述环形密封圈(7)的外环端面上设有环形卡槽(702)，环形卡槽(702)内设有用于固定环形密封圈(7)的支撑环(8)，所述螺纹孔贯通环形卡槽(702)的上侧壁设置。

6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述环形密封圈(7)的材料为聚丙烯腈。

7.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述功能区内设有用于抽放负压的抽气口(6)，抽气口(6)内设有过滤网(601)。

8.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述功能区内还设有吊料螺杆(4)，吊料螺杆(4)的底部与所述吊料盘本体(1)螺旋连接，吊料螺杆(4)的顶部设有与起吊机构输出端相适配的起吊环(10)。

9.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述功能区内还设有用于安装真空度测量表的仪表接头(2)。

10.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生产合炉的吊料盘，其特征在于，所述功能区还包括有用于人工抬动吊料盘的把手(5)。