[实用新型]适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装有效
| 申请号： | 202220342593.X | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN217149380U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 宋涛 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，包括主体支架一，主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑，主体支架一底部垂直固定底座，管支撑具有容纳内置加料器的U形槽；防倾倒机构，防倾倒机构包括旋转轴和防护板，主体支架一两侧分别转动连接一个旋转轴，两个旋转轴远离主体支架一的一端分别垂直连接防护板，两个旋转轴用于控制两个防护板的打开与关闭。本实用新型能够实现防倾倒装置的自动打开和闭合，有效防止内置加料器转移过程中跌落，降低了成本，实现内置加料过程安全实施。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 硬轴单晶炉 内置 料器 夹持 工装 | ||
【主权项】：
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