[实用新型]适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装有效
申请号: | 202220342593.X | 申请日: | 2022-02-18 |
公开(公告)号: | CN217149380U | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 宋涛 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 211000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 适用于 硬轴单晶炉 内置 料器 夹持 工装 | ||
1.一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,包括
主体支架一,所述主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑,所述主体支架一底部垂直固定底座,所述管支撑具有容纳内置加料器的U形槽;
防倾倒机构,所述防倾倒机构包括旋转轴和防护板,所述主体支架一两侧分别转动连接一个旋转轴,两个所述旋转轴远离主体支架一的一端分别垂直连接防护板,两个所述旋转轴用于控制两个防护板的打开与关闭,当两个防护板处于打开状态时,两个防护板呈竖直状态,当两个防护板处于闭合状态时,两个防护板呈水平状态。
2.如权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述防倾倒机构还包括连杆机构、托板、弹簧和导向轴,两个所述旋转轴靠近主体支架一的一端通过连杆机构与导向轴转动连接,所述导向轴的底部垂直固定在托板上,所述托板通过弹簧与主体支架一连接,所述托板位于底座上方,空载状态下,两个防护板呈打开状态,当内置加料器放入托板上后,导向轴带动连杆机构向下运动,连杆机构带动旋转轴旋转,使得两个防护板呈闭合状态。
3.如权利要求2所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述连杆机构包括连轴块和连杆,所述连轴块垂直固定在旋转轴靠近主体支架一的一端,所述连轴块的中心线与所述防护板的中心线在所述旋转轴周向方向上的夹角为30°-60°,所述连轴块的一端转动连接连杆的顶部,所述连杆的底部转动连接导向轴的顶部。
4.如权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述主体支架一为两个平行设置的支撑杆,所述主体支架一的两个支撑杆的中部对称垂直固定有轴套,两个所述轴套中分别转动连接一个所述旋转轴。
5.如权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,还包括支架二和同心调整机构,所述主体支架一远离管支撑的一侧通过四个同心调整结构连接所述支架二。
6.如权利要求5所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述支架二为与主体支架一对应设置的两个杆体,所述同心调整结构包括调节板、固定板、连接柱、调节螺栓组件和螺栓二,所述固定板固定在支架二上,所述调节板远离固定板的一侧通过连接柱固定在主体支架一上,所述调节板在连接柱的两侧通过对称设置的螺栓二与固定板螺紧,所述调节板上开设有与两个螺栓二对应的螺纹孔,所述调节板在连接柱的两侧对称设有调节螺栓组件,所述调节螺栓组件包括螺栓一和螺母,所述螺栓一的螺杆穿过调节板与固定板顶紧,并通过螺母螺紧固定。
7.如权利要求5所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述支架二远离主体支架一的一侧螺纹垂直连接夹持轴,所述支架二的两个杆体对称开设有多个调节孔,多个所述调节孔从上到下等间隔设置,所述夹持轴的两端螺纹固定在支架二两个杆体的对应调节孔上。
8.如权利要求3所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述连轴块呈T形块状,所述旋转轴靠近主体支架一的一端开设有容纳连轴块水平部的槽,所述连轴块通过两个螺钉分别穿过连轴块的水平部固定在旋转轴的槽内,两个所述连轴块竖直部的端部转动连接连杆,所述连杆的底部转动连接导向轴的顶部。
9.如权利要求2所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述托板呈L形板状,所述主体支架一在两个支撑杆的下部内侧螺纹连接U形支架,所述U形支架的中部垂直向下连接弹簧,所述弹簧的底部连接托板。
10.如权利要求3所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,其特征在于,所述底座和托板的中心处开设有减重孔;
所述连轴块的中心线与所述防护板的中心线在所述旋转轴周向方向上的夹角为45°。
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