[实用新型]一种吸附垫贴附装置有效
申请号: | 202220245422.5 | 申请日: | 2022-01-29 |
公开(公告)号: | CN216657561U | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 陈祖庆 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00;B24B41/047;B24B29/02 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 顾春天 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开提供一种吸附垫贴附装置,包括:用于在吸附垫上移动以向吸附垫施加按压力的按压块,按压块包括一平整按压面;用于在吸附垫表面移动的调节件,调节件包括平整接触面;联动架,按压块与调节件之间通过联动架连接,按压块在吸附垫表面移动时可带动调节件移动,联动架相对按压垫可活动,以使调节件能够在吸附垫表面高度变化时在垂直于平整接触面方向上运动;高度感应器,设置在联动架上,能够感应其与吸附垫表面之间在垂直于按压平整面方向上的高度;报警器,与高度感应器连接,用于当高度感应器感应到的高度变化达到阈值时被触发,执行报警动作。本公开的吸附垫贴附装置,确保组装式吸附垫贴附无异常,提高作业效率,提升贴附质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 吸附 垫贴附 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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