[实用新型]加热器和单晶炉有效
申请号: | 202220232710.7 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN216838273U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 郑贤君;何丽珠;白枭龙 | 申请(专利权)人: | 晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;H01L31/18 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种加热器和单晶炉,加热器包括多个加热条、第一电极件和第二电极件;加热条包括依次串联的第一加热条、第二加热条、第三加热条、第四加热条和第五加热条,每个加热条均包括两个并联设置的子加热条,每个加热条中的两个子加热条的长度相等;沿第一电极件的延伸方向上,第一加热条、第二加热条和第三加热条依次排布,且第一加热条、第二加热条和第三加热条中的子加热条的长度逐渐降低,沿第一电极件的延伸方向上,第五加热条、第四加热条和第三加热条依次排布,且第五加热条、第四加热条和第三加热条中的子加热条的长度逐渐降低。通过调节加热条的长度可以实现温度梯度变化,改善热场,有利于降低晶棒氧含量。 | ||
搜索关键词: | 加热器 单晶炉 | ||
【主权项】:
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