[实用新型]加热器和单晶炉有效
申请号: | 202220232710.7 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN216838273U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 郑贤君;何丽珠;白枭龙 | 申请(专利权)人: | 晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;H01L31/18 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 单晶炉 | ||
1.一种加热器,其特征在于,包括多个加热条、第一电极件和第二电极件;
所述加热条包括依次串联的第一加热条、第二加热条、第三加热条、第四加热条和第五加热条,所述第一加热条与所述第一电极件电连接,所述第五加热条与所述第二电极件电连接,每个所述加热条均包括两个并联设置的子加热条,每个所述加热条中的两个子加热条在沿所述第一电极件的延伸方向上的长度相等;
沿所述第一电极件的延伸方向上,所述第一加热条、所述第二加热条和所述第三加热条依次排布,且所述第一加热条、所述第二加热条和所述第三加热条中的所述子加热条的长度逐渐降低,沿所述第一电极件的延伸方向上,所述第五加热条、所述第四加热条和所述第三加热条依次排布,且所述第五加热条、所述第四加热条和所述第三加热条中的所述子加热条的长度逐渐降低。
2.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,沿所述第一电极件的延伸方向上,所述第一加热条、所述第二加热条和所述第三加热条中所述子加热条的电阻逐渐增加;
沿所述第一电极件的延伸方向上,所述第五加热条、所述第四加热条和所述第三加热条的电阻逐渐增加。
3.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,每个所述加热条中的两个子加热条的电阻相等。
4.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述第三加热条的形状为环形。
5.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,
所述第一加热条、第二加热条、第四加热条和第五加热条的形状为弓形。
6.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述第一加热条的两个所述子加热条分别为第一子加热条和第二子加热条,所述第二加热条的两个所述子加热条分别为第三子加热条和第四子加热条,所述第三加热条的两个所述子加热条分别为第五子电热条和第六子加热条,所述第四加热条的两个所述子加热条分别为第七子加热条和第八子加热条,所述第五加热条的两个所述子加热条分别为第九子加热条和第十子加热条;
所述第一子加热条和所述第二子加热条的一端与所述第一电极件串联,所述第一子加热条和所述第二子加热条的另一端与所述第三子加热条和所述第四子加热条的一端串联,所述第三子加热条和所述第四子加热条的另一端与所述第五子加热条和所述第六子加热条的一端串联,所述第五子加热条和所述第六子加热条的另一端与所述第七子加热条和所述第八子加热条的一端串联,所述第七子加热条和所述第八子加热条的另一端与所述第九子加热条和所述第十子加热条的一端串联,所述第九子加热条和所述第十子加热条的另一端与所述第二电极件串联。
7.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,所述第二加热条和所述第四加热条对称设置,所述第一加热条和所述第五加热条对称设置。
8.根据权利要求1所述的加热器,其特征在于,沿所述第一电极件的延伸方向上,所述第一加热条中的所述子加热条的长度等于所述第五加热条中所述子加热条的长度,所述第二加热条中的所述子加热条的长度等于所述第四加热条中所述子加热条的长度。
9.根据权利要求8所述的加热器,其特征在于,沿所述第一电极件的延伸方向上,所述第三加热条中所述子加热条的长度范围为45-55mm,所述第一加热条中的所述子加热条的长度范围为65-75mm,所述第二加热条中的所述子加热条的长度范围为55-65mm。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括上述权利要求1至9任一所述的加热器,还包括炉体和坩埚;
所述坩埚设在所述炉体内,所述加热器设在所述炉体内,且至少部分所述加热器环绕所述坩埚设置。
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