[实用新型]一种利用率高的多弧离子镀靶材结构有效
| 申请号： | 202220223053.X | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN216891175U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 马高;何江海;朱浩良;邓晓良 | 申请（专利权）人： | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 | 代理人： | 陈勐哲 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，包括靶材，绕着靶材正面的边缘设有一圈凸起的靶材围边，使靶材整体厚度达到10‑11mm，所述靶材围边为圆环形，靶材围边外侧壁为圆柱形，靶材围边的端面为向内倾斜的环形坡面，靶材围边内侧壁与环形坡面之间通过圆倒角过渡连接；本实用新型将靶材边缘的靶材围边抬高，在引弧时，打火针能与靶材围边充分接触引弧，有效提高靶材利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用率 离子镀 结构 | ||
【主权项】：
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