[实用新型]一种利用率高的多弧离子镀靶材结构

权利要求书

1.一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，其特征在于：包括靶材，绕着靶材正面的边缘设有一圈凸起的靶材围边，使靶材整体厚度达到10-11mm，所述靶材围边为圆环形，靶材围边外侧壁为圆柱形，靶材围边的端面为向内倾斜的环形坡面，靶材围边内侧壁与环形坡面之间通过圆倒角过渡连接。

2.根据权利要求1所述的一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，其特征在于：所述靶材的背面为圆形，靶材背面的直径与靶材围边外侧壁直径相等，沿着靶材背面边缘周向等角度错开设有多个螺纹孔，螺纹孔开设在靶材围边的轴向覆盖范围内。

3.根据权利要求2所述的一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，其特征在于：所述靶材背面贴紧安装有石墨片，石墨片的边缘处设有与螺纹孔一一对应的圆孔。

4.根据权利要求3所述的一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，其特征在于：所述石墨片的外侧设有铜背板，铜背板边缘设有与圆孔一一对应的安装孔，铜背板、石墨片和靶材背面通过多个沉头螺丝压紧安装。

5.根据权利要求4所述的一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，其特征在于：所述铜背板为圆台型，其内侧端面直径小于外侧端面直径，沉头螺丝从铜背板的外侧端面依次穿过铜背板、石墨片和靶材背面固定连接在螺纹孔中。

6.根据权利要求4所述的一种利用率高的多弧离子镀靶材结构，其特征在于：所述铜背板的厚度为3.5mm。