[实用新型]一种干膜光阻胶液的混料装置

摘要

本实用新型公开了一种干膜光阻胶液的混料装置，包括主混料罐、通过重力管与主混料罐连通的副混料罐，主混料罐与真空吸料机连接，还包括与副混料罐顶部进料口连通的导料管，导料管的侧壁相对设置有进液口，进液口通过进液管与液体储罐连通，进液口的上方可移除设置有至少一个螺杆进料机。该干膜光阻胶液的混料装置的通过螺杆进料机精确控制粉料的进料，副混料料罐预先混合溶剂和含量较低的粉料；对于容易逸散的粉料，通过控制溶剂进料使得粉料与溶剂同时落料，减少粉料在导料管壁的粘附，并且可以通过溶剂进料冲洗导料管壁。