[实用新型]一种具有均匀温度场的二维材料气相沉积装置有效
| 申请号： | 202220215681.3 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN216864302U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 段曦东;李佳;宋蓉 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;C23C14/06;C23C16/52;C23C16/44;C23C16/30 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 盛武生 |
| 地址： | 410082 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型属于气相沉积设备领域，具体涉及一种具有均匀温度场的二维材料气相沉积装置，包括反应管、以及包裹反应管并对反应管腔室进行控温的炉膛；炉膛控温的相应反应管腔室为温控区，所述的温控区分为气流上游的挥发区以及位于气流下游的沉积区，其中，对沉积区控温的对应炉膛内设置有螺距渐变的螺旋加热丝以及多个温度探头。本实用新型中，通过所述结构的加热丝B以及温度探头联合创新，能够利于改善温度的均匀性，改善二维材料的沉积效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均匀 温度场 二维 材料 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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