[实用新型]一种用于高纯度气瓶抽空的分子泵真空设备

摘要

本实用新型公开了一种用于高纯度气瓶抽空的分子泵真空设备，包括前置结构；设置在前置结构一侧出气口的维持结构；与维持结构出气口相接的精抽结构；分别与前置结构、精抽结构相通的主管道；若干与主管道连接的气瓶；用于容置气瓶的加热箱；可编程控制器，分别与前置结构、维持结构、精抽结构、气瓶上的控制元件电连接，通过设置的加热箱与可编程控制器，能够通过提前编程、自动控制的方式对各个分支部分进行自动化控制，只需人工干涉少许步骤，对工人来说要求较低，不需要记住繁琐的操作流程，且运用加热箱的加热方式，使在气瓶冲氮气时对其加热，其内的水份、余液均能被快速蒸发带出，气瓶内可填充条件更佳。