[实用新型]一种载物台及测试设备有效
| 申请号： | 202220185892.7 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN217484446U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 史立栋;冯程程;张蕴新 | 申请（专利权）人： | 南京芯测软件技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/02 |
| 代理公司： | 深圳市锟剑恒富知识产权代理有限公司 44769 | 代理人： | 刘显扬 |
| 地址： | 211100 江苏省南京市江宁区秣陵街道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种载物台，包括顶层、第一绝缘导热层和加热层，所述第一绝缘导热层设置在所述顶层的下方，位于所述顶层和所述加热层之间；所述顶层用于放置并真空吸附被测试的晶圆；所述加热层上设置有加热组件，所述加热组件通电后发热，并通过所述第一绝缘导热层加热所述顶层，使得所述顶层达到设定的温度，从而实现或维持晶圆测试时对环境温度的要求。本实用新型还涉及一种测试设备。实施本实用新型的一种载物台及测试设备，具有以下有益效果：对测试信号的影响较小，测试结果的偏差较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 载物台 测试 设备 | ||
【主权项】：
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