[实用新型]一种载物台及测试设备

权利要求书

1.一种载物台，其特征在于，包括顶层、第一绝缘导热层和加热层，所述第一绝缘导热层设置在所述顶层的下方，位于所述顶层和所述加热层之间；所述顶层用于放置并真空吸附被测试的晶圆；所述加热层上设置有加热组件，所述加热组件通电后发热，并通过所述第一绝缘导热层加热所述顶层，使得所述顶层达到设定的温度，从而实现或维持晶圆测试时对环境温度的要求；

还包括冷却层和第二绝缘导热层，所述冷却层设置在所述第一绝缘导热层的下方，所述第二绝缘导热层设置在所述冷却层下方，所述加热层设置在所述第二绝缘导热层下方；所述加热层通过所述第二绝缘导热层、所述冷却层和所述第一绝缘导热层加热所述顶层。

2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，所述冷却层中设置有风道，所述风道设置在所述冷却层上，用于使得外部压缩空气能够流入并流出所述冷却层，带走所述冷却层上的热量，从而实现对所述顶层的快速冷却。

3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于，所述风道包括在金属制成的所述冷却层的表面铣出的凹槽，所述表面包括所述冷却层的顶面或底面。

4.根据权利要求3所述的载物台，其特征在于，所述风道在所述冷却层表面的形状包括双螺旋状，所述风道的进气端口较所述风道的出气端口更接近所述冷却层的中心位置。

5.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，所述加热层上设置的加热组件包括片状的发热丝和基板，所述发热丝烧结在所述基板上。

6.根据权利要求5所述的载物台，其特征在于，所述发热丝按照设定的间距和图案烧结在所述基板上，使得当所述发热丝通电加热时，所述基板和所述加热层的各区域的温度均匀上升。

7.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，还包括控制线缆，所述控制线缆一端连接在所述加热层上，将外部电压提供给所述加热组件使其发热。

8.根据权利要求7所述的载物台，其特征在于，还包括温度传感器，所述温度传感器设置在所述加热层，取得其所在位置的温度数据并将其通过所述控制线缆传输出去。

9.一种测试设备，其特征在于，包括载物台、温度控制单元和测试控制单元；所述载物台是如权利要求1-8任意一项所述的载物台；所述测试控制单元为温度控制单元提供人机交互或设置界面，并控制所述温度控制单元输出的信号，所述温度控制单元为所述载物台提供电压使得其中的加热组件工作。