[实用新型]一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置

摘要

本实用新型公开了一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置，包括传送带；其特征在于：还包括EUV辐射源产生单元、清洗单元、燃料注入单元、真空控制单元；所述EUV辐射源产生单元包括反光杯和激光器；在传送带的带体上设置有通光孔，在通光孔内设置有激光晶体，在激光晶体上部设置有涂层，在涂层上设置有多个微米孔，在微米孔内设置有可产生极紫外光的燃料；所述清洗单元包括碎片清洗腔和蒸汽喷头；所述燃料注入单元包括燃料注入腔和高压喷嘴；在燃料注入腔前部设置有第一机械臂和辅助光源，在燃料注入腔后部设置有第二机械臂。本实用新型有效实现了装置的连续运行，保证了燃料加注的可靠，提高了装置的产生效率，同时达到提高光刻精度的目的。