[实用新型]一种物料清洗装置有效
| 申请号： | 202220158932.9 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN217595292U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 刘盛;巫礼杰;童灿钊;李迁;刘航;赵冬冬;刘佳鑫;文洪;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/02;B08B15/00;B08B15/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体行业技术领域，涉及一种物料清洗装置，物料清洗装置包括本体，本体上设置有清洗腔及与清洗腔相通的出风口；承载台，承载台安装在清洗腔内，用于承载物料；至少一个清洗机构，清洗机构与本体连接，用于清洗承载台上的物料；送风组件，送风组件安装在本体的顶部；罩体组件，罩体组件升降式设置于本体上；罩体组件包括中空、环形的防溅罩；在清洗物料时，承载台上的物料位于防溅罩内，并与防溅罩的内壁存在间隙；其中，间隙位于出风口的顶部，送风组件送出的风能压向间隙，并从出风口排出。该物料清洗装置不仅能够防止清洗液或清水飞溅，还能够抽出容纳腔体内的水雾，防止水雾凝结滴落在晶圆表面污染晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物料 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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