[实用新型]一种硅片表面抛光用清洁装置有效
| 申请号： | 202220139170.8 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN217451149U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李长坤;谢永奕 | 申请（专利权）人： | 广东硅峰半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;B24B55/06;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人： | 王峰刚 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片表面抛光用清洁装置，包括抛光机和抛光盘，所述抛光机的外部设置有调节机构，所述调节机构的外部设置有清洁机构，所述调节机构包括固定安装于抛光机左侧壁上的液压推杆，所述液压推杆的输出轴上活动安装有安装板，所述安装板的顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端上固定连接有转轴，所述转轴远离驱动电机的一端固定连接有连接杆，所述清洁机构包括活动安装于连接杆外部的清洗刷辊，所述安装板的底部固定安装有分配器，所述分配器的底部固定安装有喷嘴。该硅片表面抛光用清洁装置，通过启动驱动电机带动连接杆进行旋转，使两个清洗刷辊进行滚动并对抛光盘上的抛光布进行覆盖清洗，具备清洗效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 表面 抛光 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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