[实用新型]光学系统的空间结构有效
| 申请号： | 202220138142.4 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN217484529U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 杨阳;欧阳君怡;代林茂;李晓春 | 申请（专利权）人： | 深圳市麓邦技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学技术领域，公开一种光学系统的空间结构，以在简易空间内提高衍射光学元件的制作效率并确保产品的可靠性。包括：位于最上层的曝光光路组件和光源监控组件；位于中间层由上到下依次排布的掩膜板、模板及样品基片；样品基片设有用于经过曝光转化或复制模板偏振信息的光敏材料并置于位移台上；掩膜板与模板为垂直于光路的平行关系；位于最底层的对准及对齐光路组件；在曝光光路组件与光源监控组件之间设有第一分束器，其用于将一束曝光光源水平透送至光源监控组件，并经另一束曝光光源反射成入射至中间层的掩膜板、模板及样品基片的垂直光源；对准及对齐光路组件包括用于将中间层的垂直光路转换成最底层内部水平方向光路的反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 空间结构 | ||
【主权项】：
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