[实用新型]一种溅射机用基板回转鼓快速装卸机构有效
| 申请号： | 202220134943.3 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN217292199U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 毛念新;严仲君;马传宝 | 申请（专利权）人： | 无锡嘉森光学科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/14 | 分类号： | B25B27/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214063 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及溅射机的技术领域，特别是涉及一种溅射机用基板回转鼓快速装卸机构，其通过设置此设备，便于对基板进行安装拆卸，操作较简单，从而便于对基板进行更换维修；包括溅射机、电机、电机支架、转轴、基板、两组卡块、第一弹簧、两组第一连杆、第二连杆和拨片，电机通过电机支架安装在溅射机顶端，转轴顶端与电机输出端连接，转轴与溅射机顶端可转动连接，基板顶端设置有安装槽和卡槽，卡槽与安装槽相连通，两组第一连杆分别与两组卡块顶端可转动连接，转轴内下部设置有操作槽，两组第一连杆位于操作槽内，第二连杆在转轴内滑动，拨片安装在第二连杆顶端，转轴右端上部设置有活动槽，拨片在活动槽内活动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 机用基板 回转 快速 装卸 机构 | ||
【主权项】：
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