[实用新型]一种新型超低气压腔体式传感器有效

专利信息
申请号: 202220113283.0 申请日: 2022-01-17
公开(公告)号: CN216770907U 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 赵丁楚;杨小梅 申请(专利权)人: 深圳市天创精工技术有限公司
主分类号: G01M3/02 分类号: G01M3/02
代理公司: 合肥三川专利代理事务所(普通合伙) 34150 代理人: 潘光亮
地址: 518000 广东省深圳市坪山新区坑梓*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种新型超低气压腔体式传感器,包括进气机构、检测机构和处理机构,所述检测机构固定安装于进气机构的顶部,所述进气机构同于外界的气体输入,所述检测机构用于检测外界的待检测部件是否泄漏,所述检测机构的一端与处理机构进行电性连接,所述处理机构用于接收处理待检测部件的泄漏信号。本实用新型测量精度高,反应灵敏,精准度高,这样的设置可以大大提高了测试速度,缩短测试时间,可实现自动检漏,可以耐高压并集成到夹具和其他的自动化设备上,能够在严苛的生产环境中有效地工作,通过几秒的测试时间能准确提供流量0.01cc/min,压力衰减0.1Pa的高精度测试结果。
搜索关键词: 一种 新型 气压 体式 传感器
【主权项】:
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