[实用新型]一种用于制备电子级液体CO2

摘要

本实用新型提供了一种用于制备电子级液体CO2的装置，包括制冷循环系统、导热液循环系统和二氧化碳管路，制冷循环系统包括通过第一管路相连的制冷压缩机、冷凝器、膨胀阀和蒸发器，导热液循环系统包括通过第二管路相连的导热液槽和导热液循环泵，第二管路与蒸发器相连以实现制冷循环系统与导热液循环系统之间的换热，二氧化碳管路从导热液槽的液相区穿过以实现导热液循环系统与二氧化碳管路之间的换热。本实用新型提供的装置能够有效避免电子级CO2产品受到污染，使产品质量得到保证。