[实用新型]视触觉传感器

摘要

本申请涉及一种视触觉传感器，包括阵列排布的多个传感单元；所述传感单元包括沿竖直方向依次设置的接触层、弹性体层、超透镜、间隔层和图像传感器；所述接触层设置有能够随接触层形变，且能够被所述图像传感器识别的标志物，所述超透镜包括基底和阵列排布于所述基底表面的结构单元，所述结构单元由周期性排布的纳米结构组成，其中，所述超透镜基于纳米结构的相位分布配置为：将所述标志物成像于对应的图像传感器，以使图像传感器检测所述标志物的位移或形变.相比现有技术，传感准确率较高，可使用晶圆级加工与封装，易于集成和小型化，整体鲁棒性更强。