[实用新型]一种独立式连续工艺系统有效
| 申请号： | 202220052063.1 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN216947179U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 李原吉;刘忠炯;林忠炫;魏木元 | 申请（专利权）人： | 友威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 赵翠璞 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种独立式连续工艺系统，用于对待工艺物件进行电浆处理，该系统依序设置有预处理机台、第一独立工艺机台及终端独立工艺机台。第一独立工艺机台具有工艺腔体及两个阀门，两个阀门分别设于工艺腔体的两侧，工艺腔体依序设置有相互连通的第一真空抽气区、电浆处理区及第二真空抽气区；终端独立工艺机台具有终端工艺腔体及终端阀门，终端阀门设于终端工艺腔体的一侧，终端工艺腔体依序设置有相互连通的第一终端真空抽气区、终端电浆处理区及一第二终端真空抽气区。借此，本实用新型解决以往真空溅镀设备的溅镀品质低落及溅镀成本过高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 连续 工艺 系统 | ||
【主权项】：
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