[实用新型]一种独立式连续工艺系统

权利要求书

1.一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该独立式连续工艺系统用于对一待工艺物件进行电浆处理，该独立式连续工艺系统包括：

一预处理机台，对该待工艺物件进行预先处理；

一第一独立工艺机台，其与该预处理机台连接，并接收来自该预处理机台的该待工艺物件，该第一独立工艺机台具有一工艺腔体及两个阀门，该两个阀门分别设于该工艺腔体的两侧，该工艺腔体依序设置有相互连通的一第一真空抽气区、一电浆处理区及一第二真空抽气区；以及

一终端独立工艺机台，该终端独立工艺机台连接于该第一独立工艺机台远离该预处理机台的一侧，该终端独立工艺机台具有一终端工艺腔体及一终端阀门，该终端阀门设于该终端工艺腔体靠近该第一独立工艺机台的一侧，该终端工艺腔体依序设置有相互连通的一第一终端真空抽气区、一终端电浆处理区及一第二终端真空抽气区。

2.如权利要求1所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该第一独立工艺机台还包括有一第一真空抽气模组及一第二真空抽气模组，该第一真空抽气模组对应于该第一真空抽气区的位置且与该第一真空抽气区连通，该第二真空抽气模组对应于该第二真空抽气区的位置且与该第二真空抽气区连通；该终端独立工艺机台还包括有一第一终端真空抽气模组及一第二终端真空抽气模组，该第一终端真空抽气模组对应于该第一终端真空抽气区的位置且与该第一终端真空抽气区连通，该第二终端真空抽气模组对应于该第二终端真空抽气区的位置且与该第二终端真空抽气区连通。

3.如权利要求2所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该终端工艺腔体异于该终端阀门的另一侧呈封闭状。

4.如权利要求2所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该第一真空抽气模组及该第二真空抽气模组设置于该第一独立工艺机台的顶面；该第一终端真空抽气模组及该第二终端真空抽气模组设置于该终端独立工艺机台的顶面。

5.如权利要求4所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该电浆处理区及该终端电浆处理区分别具有一溅镀模组，该溅镀模组具有一靶材，该工艺腔体及该终端工艺腔体分别具有一用于移动该待工艺物件的运输模组，该运输模组沿一X轴方向进行该待工艺物件的水平移动，该靶材于水平面并垂直于该X轴方向的长度大于该待工艺物件于水平面并垂直于该X轴方向的长度。

6.如权利要求4所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该工艺腔体及该终端工艺腔体分别具有一顶盖，该顶盖分别设于该工艺腔体及该终端工艺腔体的顶面，该顶盖分别位于该第一真空抽气模组和该第二真空抽气模组之间以及该第一终端真空抽气模组和该第二终端真空抽气模组之间，该顶盖能够选择性地打开。

7.如权利要求1所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：该阀门及该终端阀门为垂直上下开关式，且该阀门及该终端阀门呈常态关闭状态。

8.如权利要求1所述的一种独立式连续工艺系统，其特征在于：还包括有一第二独立工艺机台，该第二独立工艺机台连接于该第一独立工艺机台及该终端独立工艺机台之间。