[实用新型]硅外延用石墨基座有效
| 申请号： | 202220023958.2 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN217298088U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 王刚;袁肇耿;吴晓琳;冯聚坤;张晓博;王凯达 | 申请（专利权）人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张一 |
| 地址： | 050200 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅外延用石墨基座，所述硅外延用石墨基座部件包括石墨基座本体，设有存放凹槽，用以存放衬底基片，存放凹槽为圆形，存放凹槽槽底为弧形面，且存放凹槽槽底开设有若干排气孔，若干排气孔均布在存放凹槽槽底。本实用新型提供的硅外延用石墨基座，能够完全与受热膨胀变形后的衬底基片贴合，衬底基片与石墨基座直接接触，确保衬底基片受热均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 石墨 基座 | ||
【主权项】：
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