[发明专利]一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法在审
| 申请号： | 202211740550.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116121700A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 梁文萍;尹孟娟;缪强;于海洋;孙媛媛;徐健晏;贾飞龙 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 周宁 |
| 地址： | 214188 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法，属于Ti60合金表面改性技术领域，采用双层辉光等离子技术在Ti60试样表面制备出HfMSiCN梯度陶瓷层，所选择的耐火掺杂元素M分别为Ta、Zr、Nb、Ti，其种类对梯度HfMSiCN陶瓷层的高温耐磨性起到决定作用；以格栅状高纯Hf、Si、M、C为溅射靶材，靶材中每种元素的原子比为5~40%，氩气为工作气体，氮气为反应气体。HfMSiCN梯度陶瓷层包括沉积层、扩散层，其中扩散层与Ti60基体相连，能够提高涂层与基体之间的结合强度，提高基体的力学性能，降低高温摩擦系数，磨损率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐火 元素 掺杂 耐磨 梯度 hfmsicn 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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