[发明专利]一种面向椭偏仪的测量一致性优化方法及装置在审
| 申请号： | 202211735260.4 | 申请日： | 2022-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN116223391A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 陈军;江攀;何勇;杨成;熊伟东;李伟奇;张传维 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01N1/28 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 廉海涛 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面向椭偏仪的测量一致性优化方法及装置，包括：利用待校准椭偏仪测量标准样品，对椭偏仪进行系统校准，获得椭偏仪的系统参数；对所述系统参数进行数学解析，得到椭偏仪测量系统中每个光学器件的参数值；根据解析得出的光学器件的参数值与标准数值的偏差，通过硬件调试，对每个光学器件的参数值进行优化，使对应的光学器件参数值与标准数值保持一致。通过对多台椭偏仪分别进行系统校准和参数提取，优化调整每台仪器的器件，保证每台仪器校准出的系统参数值，从而提高多台椭偏仪的测量结果一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 椭偏仪 测量 一致性 优化 方法 装置 | ||
【主权项】：
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