[发明专利]一种压力传感器用微型全桥电阻应变计在审
申请号: | 202211715573.3 | 申请日: | 2022-12-29 |
公开(公告)号: | CN116294955A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 晏志鹏;雒平华;赵凯峰;张勋;赵恒;花肖航 | 申请(专利权)人: | 中航电测仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 723007 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种压力传感器用微型全桥电阻应变计,包括四个测量栅和四个焊盘;四个测量栅和四个焊盘均设置在圆形的基底上,四个测量栅包括两个外栅和两个内栅;两个外栅分别靠近基底外径,与基底水平轴线呈上下对称排布;两个内栅设置在基底圆心处,以基底竖向轴线呈左右对称排布,外栅和内栅内的单根栅条均沿竖直方向平行排布,外栅和内栅的单根栅条宽度均为10um‑12um。避免了敏感栅线条缺口问题,提升了线条质量及简化加工工艺。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力 传感 器用 微型 电阻 应变 | ||
【主权项】:
暂无信息
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