[发明专利]一种压力传感器用微型全桥电阻应变计

权利要求书

1.一种压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，包括四个测量栅和四个焊盘；

四个测量栅和四个焊盘均设置在圆形的基底(9)上，四个测量栅包括两个外栅和两个内栅；

两个外栅分别靠近基底(9)外径，与基底(9)水平轴线呈上下对称排布；两个内栅设置在基底(9)圆心处，以基底(9)竖向轴线呈左右对称排布，外栅和内栅内的单根栅条均沿竖直方向平行排布，外栅和内栅的单根栅条宽度均为10um-12um。

2.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，两个外栅分别为测量栅A(1)和测量栅C(5)，两个内栅分别为测量栅B(3)和测量栅D(7)，四个焊盘分别为第一焊盘(2)、第二焊盘(4)、第三焊盘(6)、第四焊盘(8)；

测量栅A(1)与第一焊盘(2)和第四焊盘(8)连接，测量栅B(3)与第一焊盘(2)和第二焊盘(4)连接，测量栅C(5)与第二焊盘(4)和第三焊盘(6)连接，测量栅D(7)与第三焊盘(6)和第四焊盘(8)连接，组成一个全密封的全桥电路；测量栅A(1)与测量栅C(5)为对桥，测量栅B(3)与测量栅D(7)为对桥，第一焊盘(2)和第三焊盘(6)为输入，第二焊盘(4)和第四焊盘(8)为输出。

3.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，外栅整体呈圆弧状，圆心与基底(9)圆心相同。

4.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，外栅设置在基底(9)的Ф2.4mm-Ф2.8mm的位置上。

5.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，外栅整体宽度为1.25mm。

6.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，内栅整体呈矩形状。

7.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，内栅设置在距离基底(9)圆心0.4mm位置处。

8.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，内栅整体宽度为0.5mm，单根栅条栅长为0.8mm。

9.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，两个内栅之间间隙设置，间隙为0.05mm。

10.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，两个内栅的总宽度小于单个外栅的宽度。