[发明专利]高精度波长测量用干涉仪装置在审
| 申请号： | 202211663087.1 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN115808120A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘春红;程国军;代晓珂 | 申请（专利权）人： | 核工业理化工程研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G01J9/02 |
| 代理公司： | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人： | 马倩 |
| 地址： | 300180 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高精度波长测量用干涉仪装置，包括壳体和设置于壳体内部的光学机构，所述光学机构包括左右平行设置的独立干涉仪和组合干涉仪，所述独立干涉仪包括Ⅴ号干涉仪后腔镜和以及设置于其前方的Ⅴ号干涉仪前腔镜；所述组合干涉仪包括组合后腔镜和以及设置于其前方的组合干涉仪前腔镜，组合后腔镜包括自下而上依次叠放的Ⅰ号干涉仪后腔镜、Ⅱ号干涉仪后腔镜、Ⅲ号干涉仪后腔镜和Ⅳ号干涉仪后腔镜。本发明提供了一种高精度波长测量用干涉仪装置，在一个密封腔体中集成五个费索干涉仪，简化测量光学系统，同时提出一种简洁的波长测量方法，可实现10 |
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| 搜索关键词： | 高精度 波长 测量 干涉仪 装置 | ||
【主权项】：
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