[发明专利]一种基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器在审
申请号: | 202211660464.6 | 申请日: | 2022-12-23 |
公开(公告)号: | CN115900920A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 张琦;罗杰锋;张小贝;王梓杰;杨勇;余洋;邓传鲁;黄怿;王廷云 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | G01H9/00 | 分类号: | G01H9/00;G01D5/353 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于悬臂梁结构的非本征法布里‑珀罗声学传感器。它包括悬臂梁和45度全反射结构。其基本原理是利用45全反射结构对传输光传播方向的改变在悬臂梁和光纤之间形成非本征法布里‑珀罗腔。悬臂梁置于自由声场中,施加一定频率和幅值的声压推动其产生同期性偏转变形,从而导致干涉腔长变化,通过对干涉光谱进行解调得到干涉腔长变化量,结合悬臂梁理论形变模型,实现对被测位置处声压信号的测量。本发明提出的悬臂梁结构具有灵敏度高、动态范围大等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 悬臂梁 结构 征法布里 声学 传感器 | ||
【主权项】:
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