[发明专利]一种基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器

权利要求书

1.一种基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器，包括悬臂梁(2)和45度全反射结构，其特征在于：45度全反射结构主要由45度斜角单模光纤(1)和45度反射镜(6)两种形式得到；利用该45度全反射结构改变光束传播方向，从而形成由单模光纤(1)和悬臂梁(2)组成的非本征法布里-珀罗腔。

2.根据权利要求1所述的基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器，其特征在于：所述单模光纤(1)为45度斜角光纤，其侧壁(11)为第一反射面，悬臂梁下侧面(21)为第二反射面，在两反射面之间形成法布里-珀罗干涉腔。

3.根据权利要求1所述的基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器，其特征在于：所述单模光纤(1)为普通端面平整的单模光纤，其端面(12)为第一反射面，悬臂梁下侧面(21)为第二反射面，利用45度反射镜(6)来改变传输光的传播方向，使得两个反射面之间形成法布里-珀罗干涉腔。

4.根据权利要求2或3所述的基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器，其特征在于：所述悬臂梁(2)在一定频率和幅值的声压推动下产生周期性偏转变形，从而导致干涉腔长发生变化，通过对干涉光谱进行解调得到干涉腔长变化量。

5.根据权利要求4所述的基于悬臂梁结构的非本征法布里-珀罗声学传感器，其特征在于：所述悬臂梁(2)在均匀声压下的形变量即为干涉腔长变化量，所施加声压大小与悬臂梁形变量的关系为基于微加工技术的自由性，所述悬臂梁(2)尺寸参数可调节以适应不同频率的声压信号测量；其本征频率计算公式为式中E为杨氏模量，ρ为密度，长度为L，厚度为h，I为其转动惯量。