[发明专利]一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211635222.1 | 申请日： | 2022-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN115961252A | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 虢婷;陈自强;柯松;李尧;陈永楠 | 申请（专利权）人： | 长安大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C22C45/00;C22C45/04;C23C14/35;C23C14/54;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710064 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法，属于材料表面防护技术领域。该耐蚀非晶多层薄膜是采用双靶磁控溅射交替沉积两种非晶合金，在CoFeTaB非晶合金中嵌入极薄的轻合金MgCuY非晶层而形成。本发明制备的非晶多层薄膜结合了单个膜层的优势，同时引入的异质界面可作为腐蚀物质和裂纹的扩散屏障，在本发明的腐蚀环境中，多层膜的耐蚀性相比于纯CoFeTaB非晶薄膜得到大幅度提升。本发明所述的多层膜通过磁控溅射技术制备，得到的薄膜结构稳定、致密，覆盖于机械部件表面可有效其抗腐蚀性能，以延长使用寿命，并且工艺流程简单，过程可控，薄膜质量高，无环境污染，实用性较强，易于实现工业化推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 合金 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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