[发明专利]离子导向装置在审

专利信息
申请号: 202211631640.3 申请日: 2022-12-19
公开(公告)号: CN116130330A 公开(公告)日: 2023-05-16
发明(设计)人: 王攀攀;朱辉;余成铖;黄晓;范荣荣;熊亮;齐彦兵;张涛;吴曼曼;粘慧青;傅忠 申请(专利权)人: 昆山禾信质谱技术有限公司;广州禾信仪器股份有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/26
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁韬
地址: 215300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种涉及离子光学领域的离子导向装置,包括同轴设置的第一极片组、第二极片组及固定装置;第一极片组和第二极片组均包括两个横截面为半圆形的极片,每个极片组中的两个极片均合围成存在直线空隙的环形空腔,第一极片组的直线空隙与第二极片组的直线空隙互相垂直;固定装置用于固定第一极片组和第二极片组;第一极片组和第二极片组在施加预设电压后,依次穿过第一极片组和第二极片组的离子束沿轴向飞行且在两个相互垂直的径向方向上聚焦。由此,使得离子束在径向方向上的能量分散现象及位置分散现象得以削弱,实现了离子束中心轴线方向上的高效聚焦。
搜索关键词: 离子 导向 装置
【主权项】:
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