[发明专利]离子导向装置在审

专利信息
申请号: 202211631640.3 申请日: 2022-12-19
公开(公告)号: CN116130330A 公开(公告)日: 2023-05-16
发明(设计)人: 王攀攀;朱辉;余成铖;黄晓;范荣荣;熊亮;齐彦兵;张涛;吴曼曼;粘慧青;傅忠 申请(专利权)人: 昆山禾信质谱技术有限公司;广州禾信仪器股份有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/26
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁韬
地址: 215300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 离子 导向 装置
【权利要求书】:

1.一种离子导向装置,其特征在于,包括同轴设置的第一极片组、第二极片组及固定装置;

所述第一极片组和所述第二极片组均包括两个横截面为半圆形的极片,每个极片组中的两个所述极片均合围成存在直线空隙的环形空腔,所述第一极片组的直线空隙与所述第二极片组的直线空隙互相垂直;

所述固定装置用于固定所述第一极片组和所述第二极片组;

所述第一极片组和所述第二极片组在施加预设电压后,依次穿过所述第一极片组和所述第二极片组的离子束沿轴向飞行且在两个相互垂直的径向方向上聚焦。

2.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,所述第一极片组与所述第二极片组之间存在间隙。

3.根据权利要求2所述的离子导向装置,其特征在于,所述第一极片组与所述第二极片组之间的间隙小于或等于3mm。

4.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,所述第一极片组的直线空隙和所述第二极片组的直线空隙均小于或等于3mm。

5.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,所述固定装置设置有出口极片,所述出口极片的中心开设有用于使离子束出射的通孔。

6.根据权利要求5所述的离子导向装置,其特征在于,所述出口极片的通孔的长边与所述第一极片组的直线空隙平行。

7.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,所述第一极片组和所述第二极片组均为表面光滑的金属或为带有栅网的金属极片。

8.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,所述预设电压为不小于-500V且不大于500V的直流电压。

9.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,还包括与所述第一极片组同轴设置的传输四极杆装置,所述传输四极杆装置包括四极杆和传输四极杆出口极片;

所述传输四极杆装置用于使离子束沿轴向依次穿过所述四极杆和所述传输四极杆出口极片后,射入所述第一极片组。

10.根据权利要求1所述的离子导向装置,其特征在于,还包括与所述固定装置同轴设置的透镜装置,所述透镜装置包括多片静电透镜;

所述透镜装置用于接收从所述第一极片组的内侧中心沿轴向穿过所述第二极片组的离子束。

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