[发明专利]单频激光干涉测量中一种实时相位延迟补偿方法在审

专利信息
申请号: 202211596404.2 申请日: 2022-12-12
公开(公告)号: CN115993087A 公开(公告)日: 2023-04-21
发明(设计)人: 银珊;丁澳;熊显名;杜浩;吕绍绵 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: G01B9/02055 分类号: G01B9/02055;G01B9/02001
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 541004 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开了一种单频激光干涉测量中相位延迟的补偿方法,正弦相位调制干涉信号在模数转换器转换后转换为数字干涉信号,对数字干涉信号同时进行一阶正交下的混频以及差分运算,直接提取出相位延迟的一倍角正余弦值作为修正系数,用修正系数乘以非正交误差补偿模块输出的信号在进行加、减法运算就可以消除相位延迟。本发明无需对相位延迟进行解算就可以达到实时的相位延迟补偿,从而省略了复杂的求解过程,解决了在相位解调过程中因相位延迟引起的非线性误差难以实时补偿的问题,提高了相位测量精度,可以应用在激光干涉精密测量技术领域。
搜索关键词: 激光 干涉 测量 一种 实时 相位 延迟 补偿 方法
【主权项】:
暂无信息
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