[发明专利]一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件在审
| 申请号： | 202211590266.7 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN116165590A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 吉奉公;韩群飞;蔺兰峰 | 申请（专利权）人： | 中电国基南方集团有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 李国政 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件，包括直通标准套件、反射标准套件和延时标准套件。本发明的有益效果是：适用于三端口探针的TRL标准套件，在保证校准精度的同时，能够快速进行三端口TRL校准。此标准套件简化了三端口TRL校准流程，节约测试人员测试时间，提高了探针台利用率。在测试三端口器件的电性能过程中，采用三端口标准套件进行TRL校准，提高测试时效性，无需进行水平方向与垂直方向探针的换针操作，方便测试人员进行校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 探针 端口 快速 校准 trl 标准 套件 | ||
【主权项】：
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