[发明专利]一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件

说明书

本发明公开了一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件，包括直通标准套件、反射标准套件和延时标准套件。本发明的有益效果是：适用于三端口探针的TRL标准套件，在保证校准精度的同时，能够快速进行三端口TRL校准。此标准套件简化了三端口TRL校准流程，节约测试人员测试时间，提高了探针台利用率。在测试三端口器件的电性能过程中，采用三端口标准套件进行TRL校准，提高测试时效性，无需进行水平方向与垂直方向探针的换针操作，方便测试人员进行校准。

技术领域

本发明涉及一种TRL标准套件，具体为一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件，属于微波工程测试技术领域。

背景技术

为了去除连接中心结微带线所带来的寄生效应，提取微波器件中心结的S参数，分析和处理微波器件中心结的电路特征，常常使用去嵌技术来实现这一功能。

矢量网络分析仪测量有源器件事先必须进行测量校准，在测量夹具上进行测量校准，测量夹具需要一个微带平面传输线制成的校准件，把测量夹具引入的误差作为整个矢量网络分析仪的系统误差，通过在微带参考面上进行测量校准和误差修正，剔除夹具带来的误差。

去嵌需要进行校准程序的选择，选用TRL校准程序可实现去嵌，TRL校准，即直通-反射-延时校准，通过测量2个传输标准件和1个反射标准件来决定8项误差模型。二端口校准用最少3个标准定义校准参考平面，能够消除微带线环境中测试夹具对器件测量的影响。直通是传输线的零长度，反射为开路或者短路，延时线是添加延时长度的传输线。

一套完整的TRL校准装置包含三个校准件和一个测量夹具，直通校准件包含的传输线与加载有DUT 夹具的传输线等长，延时校准件包含的传输线比直通校准件包含的传输线要长，反射件包含的传输线与直通件包含的传输件等长，特别的，反射校准件一般是通过传输线末端开路或短路实现。

由于加载DUT的夹具不仅包含同轴到传输线的接口转换，还包含一定长度的传输线，实际测试时必须考虑这两部分对测试结果的影响。

传统TRL微带校准件包括一条直通标准件、一条开路的反射标准件和一条延时标准件。在测试三端口微波器件的时候，需要对探针台的三个探针端口进行校准。如果使用传统TRL校准件，在校准过程中，须将垂直方向的探针移至水平方向，对校准件的端口进行扎针，才能使用相应端口的校准文件进行校准。依据TRL校准程序的定义，此校准过程需要两次探针交换操作，此过程繁琐耗时，容易出错，需要多名测试人员协作，且不能保证校准的准确性。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述至少一个技术问题而提供一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件，以此简化三端口器件的TRL校准过程，减少非必要的校准操作，同时保证TRL校准的精确性。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：一种适用于探针台三端口快速校准的TRL标准套件，包括设置在衬底材料上的直通标准套件、反射标准套件和延时标准套件；

直通标准套件、反射标准套件和延时标准套件均设置有与探针对接的接口，且接口包含水平向右与垂直向下、水平向右与水平向左以及水平向左与垂直向下；

直通标准套件利用三个微带直通线所构成的直通标准件实现TRL所需；反射标准套件利用三个反射微带线所构成的反射标准件实现TRL所需；延时标准套件利用三个微带直通线所构成的延时标准件实现TRL所需，且直通标准套件、反射标准套件和延时标准套件的表面均涂覆有金属层。

作为本发明再进一步的方案：直通标准套件包含校准水平向左与垂直向下的直通校准件、校准水平向左与水平向右的直通校准件以及校准水平向右与垂直向下的直通校准件，三个直通标准件之间电长度一致、特征阻抗一致。

作为本发明再进一步的方案：反射标准套件包含校准水平向左与垂直向下的延时校准件、校准水平向左与水平向右的延时校准件、校准水平向右与垂直向下的延时校准件，三个反射标准件之间电长度一致、特征阻抗一致。