[发明专利]一种用于晶锭或晶圆斜角加工的装置与加工方法有效
| 申请号： | 202211576253.4 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN115570286B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 杨森;张聪;陈磊;薛健飞;程斐斐;张贵龙;崔红恩;张晨旭 | 申请（专利权）人： | 西安晟光硅研半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/08;B23K26/402;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 王萌 |
| 地址： | 710003 陕西省西安市国家民用航天产业基*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于晶锭或晶圆斜角加工的装置与加工方法，装置包括：基座、水平旋转组件、第一角向滑动组件、第二角向滑动组件和工件固定组件，其中，水平旋转组件固定在基座上；第一角向滑动组件固定在水平旋转组件上；第二角向滑动组件固定在第一角向滑动组件上；工件固定组件固定在第二角向滑动组件上。该装置中设置水平旋转组件、第一角向滑动组件、第二角向滑动组件，通过三者结合实现了待加工工件在任意方向角度的切割加工，从而可以提高晶锭或晶圆斜角加工的精度，减小晶锭或晶圆斜角加工的损耗，提高加工的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 斜角 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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