[发明专利]一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及其制法与应用在审
申请号: | 202211572430.1 | 申请日: | 2022-12-08 |
公开(公告)号: | CN115821206A | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 郭武明;王立平;王海新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/02;C23C16/26;C23C14/22;C23C16/50;C23C28/00 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 何胜男;王锋 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及其制法与应用。所述超厚碳基复合涂层包括依次形成于基体表面的过渡层和交替层叠层,其中,所述交替层叠层由异质结构层和非晶碳层交替层叠形成,所述异质结构层包括MeC层、MeN层、MeCN层中的任意一种或两种以上的组合,Me选自Cr、Ti或W;所述超厚碳基复合涂层的最外层为非晶碳层。本发明制备的异质多层结构的超厚碳基复合涂层除了具有优异的力学性能、摩擦磨损性能外,还具有很好的耐腐蚀防护性能,能够应用于海洋环境中具有长寿命和防腐要求的运动部件上。 | ||
搜索关键词: | 一种 多层 结构 超厚碳基 复合 涂层 及其 制法 应用 | ||
【主权项】:
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