[发明专利]一种基板减薄装置在审
| 申请号： | 202211546041.1 | 申请日： | 2022-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN115771076A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 杨晓良;刘远航;张胜;付永旭 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B27/00;B24B49/00;B24B55/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板减薄装置，其包括：基座；减薄模块，设置于基座的上部；转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部；所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘；还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂和测量部，所述摆臂的一端连接于所述旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板减薄 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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