[发明专利]一种应变梁制造方法及压力传感器有效
| 申请号： | 202211545229.4 | 申请日： | 2022-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN115533467B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 范敏;雷卫武;徐建;徐承义;杨雪梅;刘素夫 | 申请（专利权）人： | 松诺盟科技有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;G01L1/22;G01L9/04;C23C28/00 |
| 代理公司： | 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308 | 代理人： | 李健华 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种应变梁制造方法，涉及传感器领域。包括加工凹槽、研磨抛光、光刻电桥、分隔应变梁和将应变梁与弹性体结合的制作步骤；使用该方法制作的应变梁缩短了加工周期，减少了废料的产生，提升了成品率，有利于批量生产。此外本发明还提出一种压力传感器，包括由上述方法制得的应变梁，能够实现和上述同等的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应变 制造 方法 压力传感器 | ||
【主权项】：
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