[发明专利]一种用于快速调节束流尺度的装置在审
| 申请号： | 202211535374.4 | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN115763199A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 刘建成;郭刚;殷倩;陈启明;苏鹏;杨智;赵勇乐;赵琴 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01R31/00;H01J37/09 |
| 代理公司： | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 田明;任晓航 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于粒子束流控制技术领域，具体涉及一种用于快速调节束流尺度的装置，包括光阑底座(1)和光阑顶盖(7)构成的壳体，壳体上设有能够通过粒子束流的束流出口，在壳体内设有旋转驱动盘(6)、垂直活动挡板(3)和水平活动挡板(5)，通过旋转驱动盘(6)的旋转带动垂直活动挡板(3)和水平活动挡板(5)运动，实现对束流出口的开启或闭合以及对束流出口的尺寸的调节，从而实现对粒子束流的尺度的调节。本发明实现了束流出口的尺寸在0cm至10×10cm之间的连续快速调节，在束流尺度方面，由原来的1cm×1cm‑5cm×5cm提升到0‑10cm×10cm，可满足大尺寸器件以及多器件同时辐照的需求，提升束流的利用率，简化了实验流程，提高了实验效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 快速 调节 尺度 装置 | ||
【主权项】：
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