[发明专利]光子晶体激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202211532616.4 | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN115548873B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 顾俊逸;陈子豪;朱晓琪;彭超 | 申请（专利权）人： | 微源光子（深圳）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/11 | 分类号： | H01S5/11;H01S5/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 朱晓琳;焦玉恒 |
| 地址： | 518129 广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖村宝能科技园9栋*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光子晶体激光器及其制备方法，该制备方法包括：形成第一种类型的半导体掺杂层薄膜、阻蚀剂层；采用压印模板对阻蚀剂层进行纳米压印，将压印模板的图案转移到阻蚀剂层，对其进行固化处理以形成阻蚀剂层图案；以阻蚀剂层图案为掩膜对第一种类型的半导体掺杂层薄膜进行构图工艺以形成光子晶体层；该光子晶体层包括光子晶体部，其包括阵列排布的多个通孔、中心区域和外围区域，多个通孔包括分别在中心区域和在外围区域阵列排布的第一通孔和第二通孔；第一通孔和第二通孔的相对排布密度不同，在同一方向上，任意相邻的两个第一通孔之间的第一间距的方差的范围为1~100，采用纳米压印技术形成光子晶体部有助于提升生产效率、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 晶体 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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