[发明专利]离子源在审
| 申请号： | 202211531248.1 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN115985754A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 任秀艳;冯喆;曾麟淇;徐昆;赵纯瑞;侯继宇 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/12 | 分类号： | H01J49/12 |
| 代理公司： | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人： | 王鹏鑫 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请的实施例提供一种离子源，包括：气化机构，用于将固态原料气化形成饱和蒸汽，气化机构包括：多个坩埚，坩埚用于容纳固态原料；加热件，用于对坩埚加热以使固态原料气化成饱和蒸汽；分配机构，设置有多个气体入口和多个气体出口，每个气体入口与一个坩埚连接；多个等离子体生成机构，分别与气体出口连接，以接收来自气化机构的饱和蒸汽，等离子体生成机构形成有放电腔，饱和蒸汽能够在放电腔中电离形成等离子体；电子发射机构，电子发射机构能够向放电腔中发射电子，以使放电腔中的饱和蒸汽发生电离；以及引出机构，引出机构能够对放电腔中形成的等离子体施加电场，以将等离子体引出放电腔并形成离子束流。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
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