[发明专利]抗蚀剂形成用感光性树脂组合物、树脂膜、固化膜和半导体装置在审
| 申请号： | 202211513979.3 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN115718406A | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 田中裕马 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;C08G8/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;池兵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供抗蚀剂形成用感光性树脂组合物、树脂膜、固化膜和半导体装置。本发明的抗蚀剂形成用感光性树脂组合物包含具有联苯酚结构的酚醛树脂(A)、光产酸剂(B)和溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 形成 感光性 树脂 组合 固化 半导体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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