[发明专利]研磨机研磨液流量控制装置及方法有效
| 申请号： | 202211512692.9 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115533734B | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 徐建民;陈建松;郝建军;丁洁;李永斌;狄建兴;杨铁生;王亮;崔立志;宋学忠 | 申请（专利权）人： | 唐山国芯晶源电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00;B24B49/16;B24B57/02 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 秦敏华 |
| 地址： | 064100 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请适用于晶片研磨技术领域，提供了研磨机研磨液流量控制装置及方法，该装置包括依次连接的流量传感器、流量控制仪、伺服电机和调节阀，还包括与流量控制仪连接的压力传感器、与伺服电机连接的搅拌器；流量传感器，用于获取研磨液出口处的实际流量值；压力传感器，用于获取磨液出口处的研磨液对研磨液管道内壁的压力；流量控制仪，用于基于第一阈值、实际流量值和研磨液对研磨液管道内壁的压力，启动伺服电机；伺服电机，用于驱动阀杆或者搅拌器进行转动；调节阀，设置于研磨液管道入口，用于调节研磨液入口处的研磨液流量；搅拌器，设置于存放研磨液的装置中，用于搅拌研磨液。本申请能够保证研磨液流量保持恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨机 研磨 流量 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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