[发明专利]一种星型分子玻璃成膜树脂与光刻胶及其制备方法

摘要

本发明公开一种星型分子玻璃成膜树脂，以及基于三嗪环的分子玻璃光刻胶，以及星型分子玻璃成膜树脂的制备方法，属于半导体微电子化学技术领域。所述分子玻璃光刻胶含有星型分子玻璃成膜树脂、光致产酸剂(PAG)、助剂和溶剂。所述星型分子玻璃成膜树脂是以三嗪环为核，三个胆酸衍生物为支链的星型单分子树脂。本发明的星型分子玻璃成膜树脂分子量单一，玻璃化温度(Tg)高；以该成膜树脂配合光致产酸剂(PAG)、助剂和溶剂所制得的正型光刻胶可以满足大规模集成电路的光刻工艺要求。另外本发明所采用的核心原料三嗪化合物以及胆酸衍生物均源于国产，可以从源头上彻底解决半导体光刻胶及其原料的卡脖子问题。