[发明专利]一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法在审
| 申请号： | 202211494952.4 | 申请日： | 2022-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN115821224A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 王磊磊;张钦;韩学坤 | 申请（专利权）人： | 青岛镭视光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266109 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法，涉及镀膜的技术领域；离子束溅射镀膜用镀膜机包括工件盘，用于固定基片；遮挡板，位于工件盘下方，用于遮挡部分由沉积系统轰击靶材系统产生的薄膜材料；定位底座，用于安装遮挡板；调节件，与定位底座连接，用于调节定位底座位于镀膜腔室内与工件盘的相对位置；遮挡板包括第一MASK金属板和第二MASK金属板，本申请具有降低膜层均匀性分布差异的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 溅射 镀膜 遮挡 均匀 修正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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