[发明专利]一种互锁微结构隔离调控的离子电容式传感器在审
| 申请号： | 202211491016.8 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN115808188A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 潘泰松;陈文翔;郭登机;高敏;林媛 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种互锁微结构隔离调控的离子电容式传感器及其制备方法，属于传感器领域。包括第一电极层、第二电极层及设置在第一电极层和第二电极层之间的介电层；所述介电层包括自下而上依次层叠的第一弹性层、支撑层和第二弹性层，两个弹性层均为以聚乙烯醇树脂和磷酸为原料配置的复合溶液制备得到的离子凝胶层，其上形成有微结构。该离子电容式传感器的介电层具有较低的初始电容、较好的稳定性、较快的恢复响应时间，且介电层中的支撑层高度可调，通过调节介电层中支撑的高度调节响应单元的初始灵敏度和压力响应量程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 互锁 微结构 隔离 调控 离子 电容 传感器 | ||
【主权项】：
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