[发明专利]一种微零件检测装置在审
| 申请号： | 202211489730.3 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN115855813A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 王曦;刘进;李贺;崔奇;李捷 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84;G02B21/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李增苗 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种微零件检测装置，包括用于观测微零件的显微视觉设备和两个以上微针组件；任一微针组件设有三轴移动台I；任一微针组件具有用于以静电力和/或范德华力吸拾微零件的微针，至少两个微针组件的微针的运动轨迹部分重合或完全重合、以实现夹持微零件。该微零件检测装置是一种集微零件拾取、检测、释放等于一体的检测装置，其以一个或者多个微针组件装卡微零件，并以显微视觉设备观测微零件，可实现多方位观察微零件的结构形貌，与此同时，多个微针组件协同作业还可以对微零件的表面实现接触检测等操作。可见，该微零件检测装置适用于操作尺寸较小且形状复杂多样的微零件，可满足微零件多种检测工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 零件 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院电子工程研究所，未经中国工程物理研究院电子工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211489730.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
